반도체·디스플레이 산업에서의 나노인덴터 활용 – 초박막의 물성을 정밀하게 측정하다
반도체와 디스플레이는 미세한 구조와 박막으로 구성되어 있기 때문에, 아주 작은 힘에도 민감하게 반응합니다. 이런 정밀 부품의 성능을 보장하려면, 소재의 표면 기계적 특성을 나노 단위로 측정할 수 있는 장비가 필요합니다.바로 그 역할을 수행하는 것이 **나노인덴터(nanoindenter)**입니다.왜 반도체/디스플레이에 나노인덴터가 필요한가?적용 목적설명초박막의 기계적 물성 평가수십~수백 nm 두께의 절연층, 보호막, 전도층 등다층 박막 간 계면 특성 분석계면 간 박리, 균열 여부 예측절연막, 패시베이션층의 내구성 측정하드 마스크, 하프늄 산화물, SiNx 등스크래치/응착력 평가코팅층의 박리 여부 확인, 리프트오프 방지정전기 방지막 등 기능성 코팅 성능 확인ITO, 플루오르계 코팅의 표면 강도 측정주요 측..
2025. 4. 16.
