화학기상증착2 CVD 코팅에 나노인덴터를 적용해야 하는 이유 – 박막의 경도와 탄성 측정, 그리고 그 의미CVD(Coating Vapor Deposition, 화학기상증착)는 다양한 산업에서 얇고 정밀한 박막을 형성할 수 있는 공정으로 널리 활용됩니다. 특히 반도체, 절삭 공구, 광학 부품 등에 적용되는 CVD 박막은 두께가 수십 나노미터에서 수 마이크로미터에 불과합니다.이러한 얇은 박막의 **기계적 특성(경도, 탄성 등)**을 정확히 측정하기 위해 사용되는 장비가 바로 나노인덴터(nanoindenter)입니다.나노인덴터란?나노인덴터는 수십 나노미터 수준의 깊이까지 정밀하게 하중을 가하고, 그에 따른 표면 반응(변형)을 측정하는 장비입니다. 일반적인 경도 측정기와 달리, 아주 얇은 박막이나 미세 구조물의 물성을 평가할 수 있는 것이 가장 큰 특징입니다.💡 나노인.. 2025. 4. 15. CVD 코팅이란? – 화학기상증착의 원리와 활용 CVD(Coating Vapor Deposition, 화학기상증착)는 기체 상태의 전구체(precursor)를 사용하여 고체 박막을 형성하는 표면 처리 기술입니다. 다양한 재료의 얇은 층을 원하는 기판 표면에 증착할 수 있어서 반도체, 절삭 공구, 광학 부품, 태양전지 등 여러 산업 분야에서 사용되고 있습니다.이 글에서는 CVD 코팅의 원리, 공정 방식, 장단점, 그리고 대표적인 활용 분야까지 차근차근 알아보겠습니다.1. CVD의 기본 원리CVD는 화학 반응을 이용해 고체 박막을 형성하는 기술입니다. 일반적으로 다음과 같은 단계로 진행됩니다.기체 상태의 전구체 공급고온의 반응기(reactor) 내부로 휘발성 화합물을 포함한 기체(전구체)를 공급합니다.기판 표면에서의 화학 반응기판이 일정 온도로 가열되며,.. 2025. 4. 15. 이전 1 다음
